从今年3月底捷龙三号遥十运载火箭点火升空入轨至今,由嘉定企业上海麦锴科技有限公司和中国科学院上海微系统所自主研发的32颗MEMS快反镜,已在太空稳定运行近两个月。这些“硬币大小”的镜子,随星载激光通信终端批量部署在多个卫星上,全部建链成功,成为我国星间激光通信网络中的关键一环。

MEMS快反镜是卫星激光通信的核心执行器件。两颗高速飞行的卫星要在几百公里外实现“对视”并建立通信链路,离不开这枚小小的镜子精准调整光束方向。麦锴科技孵化自中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室,是一家典型的“成果转化公司”。早期的原创技术攻坚由微系统所负责,麦锴则专注于工程化、产品化及市场商务。
要造出符合航天要求的MEMS快反镜,门槛极高。传统方案长期依赖进口,体积大、功耗高。而航天应用对镜面口径、响应带宽、指向精度都有苛刻要求,还要攻克“强力学冲击可靠性”的行业难题。麦锴科技总经理郭颖表示:“我们在立项时就瞄准了航天场景,做了针对性设计。”经历多轮技术迭代和流片封装优化,如今产品已具备微弧度级偏转精度和1000G抗冲击能力,完全满足宇航级在轨工作寿命指标。

企业的产品与嘉定产业链深度绑定,形成了“三位一体”的协同格局:微系统所攻关原创技术,麦锴负责迭代优化和中后道封装,上海工研院承担前道晶圆代工。三家单位均在嘉定,构成“研发—制造—封装”完整链条。企业的主要客户同样是商业航天领域的激光通信终端公司,不少就在嘉定。在郭颖看来,嘉定拥有中国科学院多个院所,技术底蕴深厚,加之商业航天赛道持续升温,已形成一定的产业聚集。
2023年麦锴科技注册成立时,公司仅三人。落地智能传感器产业园后,企业享受到了实实在在的帮扶。园区协助申报科小、高企等资质认定;企业在“创在上海”大赛中获得优胜奖,园区又帮助对接了市、区两级资金配套。这些帮扶让初创企业感到踏实。

在产品性能上,麦锴的MEMS快反镜实现了对进口产品的赶超。体积和质量是传统产品的十分之一,功耗只有百分之一,价格约为进口的一半,比国内同类产品还能再降30%至40%。目前月产能300颗,一颗卫星大约需要8到10颗快反镜,相当于每月可供应30颗卫星使用。随着商业航天星间激光通信组网需求持续增长,这种批量制造优势将更加凸显。
面向未来,企业计划继续深耕商业航天第一赛道,同时也会大力拓展第二赛道。郭颖表示,MEMS快反镜的技术路径同样适用于光电探测、医疗检测、VR/AR等多个领域。除此之外,企业还将积极开拓新的产品方向:一是面向AI算力芯片的主动散热方案,用先进的MEMS压电技术制作“微型风扇”驱散热量,预计明年推出;二是在未来6G通信的骨干网络中提供高性能的核心光-光交换器件。企业将持续推动更多“深水区”核心器件的国产替代,为国家新质生产力发展贡献力量。
